ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
نویسندگان
چکیده
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشته تنگستن) بر چگالی پلاسما بررسی گردید. با اعمال ولتاژ تخلیه الکتریکی 57 ولت و میدان مغناطیسی حدود 200 گاؤس و عبور جریان 18 آمپر از رشته کاتد، مقدار بیشینه 130 میلی آمپر برای جریان پلاسما در فشار 4-10×2/1 میلی بار اندازه گیری شد.
منابع مشابه
ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه‌نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه‌نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی‌بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشت...
متن کاملبررسی مشخصه حسگر نوری پیوندگاه نامتجانس AZO/p-Si لایه نشانی شده به روش افشانه داغ
در این تحقیق لایه AZO (اکسید روی الایش یافته با الومینیوم) بر روی زیر لایه p-Si به روش افشانه داغ لایه نشانی شد. هدف از این تحقیق بررسی خواص الکترواپتیکی پیوندگاه نامتجانس AZO/p-Si و نیزلایه AZO تحت تابش نور مرﺋی و فرابنفش قبل و پس از پخت است . پیوندگاه نامتجانس ایجاد شده می تواند به عنوان یک حسگر نوری و سلول خورشیدی عمل کند. به منظور بررسی ساختار بلوری و ریخت شناسی این لایه ، از طیف پراش اشعهX...
متن کاملساخت حسگر پارچه‌ای سیگنال قلب توسط چاپ و لایه نشانی فلز مس روی پارچه پلی‌استر
In the last decade, a significant progress has been made in the wearable medical devices. Scientists are extensively involved in the design of the flexible instruments equipped with garments to fulfill the daily needs and requirements. The fulfillment of this demand particularly needs a conductive fabric substrate with a high level of homogeneity, and the lowest barrier against electrical curre...
متن کاملساخت نانوکامپوزیت nio-ysz برای آند پیل سوختی اکسید جامد به روش لایه نشانی الکتروفورتیک
در این پژوهش، نانوکامپوزیت nio-ysz جهت استفاده به عنوان لایه ی afl آند sofc به روش لایه نشانی الکتروفورتیک ساخته شد. برای این منظور، ابتدا سوسپانسیون حاوی ذرات nio و ysz با نسبت 50:50 و با غلظت gr/lit10 درمحیط های غیر آبی متعددی تهیه شد. بررسی ها نشان داد که سوسپانسیون تهیه شده در ایزوپروپانول، با افزودن ید دارای بهترین شرایط برای انجام فرآیند الکتروفورتیک است. سپس این سوسپانسیون جهت لایه نشانی...
متن کاملبررسی مشخصه حسگر نوری پیوندگاه نامتجانس azo/p-si لایه نشانی شده به روش افشانه داغ
در این تحقیق لایه azo (اکسید روی الایش یافته با الومینیوم) بر روی زیر لایه p-si به روش افشانه داغ لایه نشانی شد. هدف از این تحقیق بررسی خواص الکترواپتیکی پیوندگاه نامتجانس azo/p-si و نیزلایه azo تحت تابش نور مرﺋی و فرابنفش قبل و پس از پخت است . پیوندگاه نامتجانس ایجاد شده می تواند به عنوان یک حسگر نوری و سلول خورشیدی عمل کند. به منظور بررسی ساختار بلوری و ریخت شناسی این لایه ، از طیف پراش اشعهx...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
عنوان ژورنال:
علوم و مهندسی سطح ایرانجلد ۹، شماره ۱۸، صفحات ۴۱-۴۵
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023